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滑阀真空泵系统解决方案

更新时间:2020-04-22 14:28:36点击次数:238次

滑阀真空泵概述

滑阀真空泵广泛应用于太阳能、单晶生产炉制药、电子、冶炼、陶瓷、航空、实验室等多种场合,真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空烧结、真空热处理、真空浓缩、真空反应、真空模拟试验等真空作业上。它可单独使用,也可作为罗茨泵、油扩散泵、分子泵等其它高真空泵的前级泵配套使用。

适用于抽吸空气汲其它一般性气体,当使用气镇时亦能抽吸含有少量的可凝性气体(如水蒸气)。本企业通过与国外知名企业机构交流合作。研发的新代滑阀式真空泵,各项性能超过原滑阀泵,滑阀泵和旋片泵相比,耐用高出几十倍。当抽除含氧量过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀的、对真空油起化学反应的、含较多水或尘埃等气体时,请加附加装置(如过滤器、气水分离器、需加1号真空油)

 

滑阀式真空泵的特点及用途

滑阀式真空泵适用于抽吸空气气吸 其他一般性气体,当使用气镇时,亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体(如水蒸汽)。当抽吸含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的气体时,应该附加装置。本型泵可单独使用,也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵,相对于旋片式真空泵,滑阀泵比较耐用,使用寿命长。该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟试验使用较多。

 

滑阀式真空泵原理

滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。

滑阀泵亦分单级泵和双级泵两种,有立式和卧式两种结构形式。单级泵的极限压力为0.4~1.3Pa;双级泵的极限压力为6X10-2-10-1Pa.一般抽速超过150L/s的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用,也可作其它泵的前级泵用。

工作原理:滑阀泵的结构主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。

 

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